
真空管件连接方式
发布日期:[2026-04-01] 点击率:真空管件的连接方式取决于系统真空等级、热力学状态及机械载荷特征,主要分为焊接连接、法兰连接与压缩式连接三类。焊接连接适用于超高真空(UHV)主干管道,采用全自动TIG焊,焊缝熔深均匀性偏差≤±0.1 mm,焊后经固溶处理与电解抛光,焊缝区粗糙度Ra≤0.15 μm,X射线探伤达ASME Section V Level 2标准。法兰连接按ISO标准划分为CF(ConFlat)、ISO-KF(Quick Flange)与ISO-F三类:CF法兰使用铜垫圈,通过八角形凹槽与锥面配合,在螺栓预紧力作用下形成塑性流动密封,垫圈压缩率控制在25–30%;ISO-KF法兰依赖卡箍施加径向夹紧力,使双锥面法兰与FKM密封圈同步压缩,密封圈压缩永久变形率须≤18%(175℃×96 h);ISO-F法兰采用平面密封结构,依赖高精度研磨面(平面度≤1 μm)与无氧铜垫圈冷流变形实现密封。压缩式连接仅用于中真空工况,通过管件本体扩口与螺母锁紧产生轴向压紧力,扩口角度严格控制在37°±0.5°,扩口深度公差±0.03 mm。所有连接界面在装配前须经丙酮-乙醇双步超声清洗,残留碳氢化合物含量≤5 ng/cm²,装配扭矩按ISO 15510规定的M值执行,误差带±3%。
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